立式炉的工艺腔或炉管是对硅片加热的场所,它由垂直的()、()和()组成。 发布时间:2017-10-27 07:53 │ 来源:www.tikuol.com 题型:填空题 问题: 立式炉的工艺腔或炉管是对硅片加热的场所,它由垂直的()、()和()组成。