高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。 发布时间:2017-10-27 17:25 │ 来源:www.tikuol.com 题型:判断题 问题: 高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。