某发明专利申请的权利要求1如下：“权利要求1：一种半导体器件，包括部件a、b、c。”
题型：多项选择题
问题：
某发明专利申请的权利要求1如下：“权利要求1：一种半导体器件，包括部件a、b、c。”下列哪些权利要求的撰写存在缺陷？（）
A．权利要求2：如权利要求1所述的制造半导体器件的方法，其特征在于d。
B．权利要求2：制造如权利要求1所述的半导体器件的方法，其特征在于e。
C．权利要求2：如权利要求1所述的半导体器件，其特征在于所述部件f由铜制成。
D．权利要求2：如权利要求1所述的半导体器件，其特征在于还包括部件g。