在对层间绝缘膜进行CMP时,层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化()。A.电路图 发布时间:2020-01-16 22:40 │ 来源:www.tikuol.com 题型:多项选择题 问题: 在对层间绝缘膜进行CMP时,层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化()。A.电路图形结构的凹凸B.尺寸大小C.位置分布D.高度E.密集程度