为了保持优良的结晶性能,提高制膜速度,除了要采用();()投入外,多数也采用导入电源 发布时间:2017-10-11 11:42 │ 来源:www.tikuol.com 题型:填空题 问题: 为了保持优良的结晶性能,提高制膜速度,除了要采用();()投入外,多数也采用导入电源频率为60MHz---100MHz的VHF带等离子体的CVD法。