高纯硅生产流程如下： （1）由SiO2制粗硅的化学方程式是，该反应不能说明碳的
题型：填空题
问题：
高纯硅生产流程如下：
（1）由SiO2制粗硅的化学方程式是 ，该反应不能说明碳的非金属性强于硅，原因是 ，请写出一个能说明碳的非金属性强于硅的化学方程式 。
（2）900℃以上，H2与SiHCl3发生反应：SiHCl3(g)+ H2(g)
Si(s) + 3HCl(g) ΔH＞0。将一定量的反应物通入固定容积的密闭容器中进行反应。下列说法正确的是 （填字母）。
a．在恒温条件下，若容器内压强不变，则该反应一定达到化学平衡状态
b．增大SiHCl3的用量，可提高SiHCl3的平衡转化率
c．升高温度可加快反应速率，且提高硅的产率
（3）该流程中可以循环使用的物质是 。
